经验案例

微电子打印机制备逻辑门电路

发表日期:2020-04-21阅读量:452
逻辑门电路结构大体可分为四层:
第一层:底电极层—喷墨打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25um)
第二层:介电层—喷墨打印(墨水:LOGI-DT15A  DPI:20um)
第三层:顶电极层—喷墨打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25um)
第四层:半导体层—喷墨打印或点胶(本文不涉及)
 

下面以打印与非门阵列为例:

  • 首先利用BitsAssembler软件进行画图,第一层为底电极层,第二层为介电层,第三层为顶电极层,所画图形如下。

 

 

  • 然后设置参数,进行喷墨打印

1、进行底电极层阵列的打印,使用的墨水为BASE-CP12,基底需加热40℃进   行打印,选择合适的喷孔进行喷墨打印。打印完成后,对基底进行后处理,130℃加热30min。加热处理后结果如下。

 

打印并处理过的底电极层阵列

 

2、进行介电层阵列的打印,使用的墨水为LOGI-DT15A,进行打印测试,选择合适的喷孔并使用异层对齐功能进行喷墨打印。打印完成后,对基底进行后处理,120℃加热30min。加热处理后的结果如下图所示。

 

打印并处理过的介电层阵列

3、进行顶电极层阵列的打印,使用的墨水为BASE-CP12,进行打印测试,选择合适的喷孔并使用异层对齐功能进行喷墨打印。打印完成后,对基底进行后处理,150℃加热90min。加热处理后的结果如下图所示。

打印并处理完的顶电极层阵列

 

 

 

结果反馈
 

打印完成后的顶电极的线宽大约为100μm,线距约为60μm(设计线宽为25μm,线距为150μm),如下图所示。

 

显微镜下的与非门

 

和与非门类似的还有锁存器、反相器以及环形振荡器等等,都可以按照相同的流程来制备。

 

锁存器

 

反相器

环形振荡器

 

 

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