
经验案例
微电子打印机制备逻辑门电路
发表日期:2020-04-21阅读量:854
下面以打印与非门阵列为例:
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首先利用BitsAssembler软件进行画图,第一层为底电极层,第二层为介电层,第三层为顶电极层,所画图形如下。
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然后设置参数,进行喷墨打印
1、进行底电极层阵列的打印,使用的墨水为BASE-CP12,基底需加热40℃进 行打印,选择合适的喷孔进行喷墨打印。打印完成后,对基底进行后处理,130℃加热30min。加热处理后结果如下。
打印并处理过的底电极层阵列
2、进行介电层阵列的打印,使用的墨水为LOGI-DT15A,进行打印测试,选择合适的喷孔并使用异层对齐功能进行喷墨打印。打印完成后,对基底进行后处理,120℃加热30min。加热处理后的结果如下图所示。
打印并处理过的介电层阵列
3、进行顶电极层阵列的打印,使用的墨水为BASE-CP12,进行打印测试,选择合适的喷孔并使用异层对齐功能进行喷墨打印。打印完成后,对基底进行后处理,150℃加热90min。加热处理后的结果如下图所示。
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打印并处理完的顶电极层阵列
打印完成后的顶电极的线宽大约为100μm,线距约为60μm(设计线宽为25μm,线距为150μm),如下图所示。
显微镜下的与非门
和与非门类似的还有锁存器、反相器以及环形振荡器等等,都可以按照相同的流程来制备。
锁存器
反相器
环形振荡器
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