微电子打印机制备气体传感器教程

柔性的气体传感器具有非常广泛的应用，本期介绍的是检测NH3和NO2气体的气体传感器，该传感器主要是通过检测环境中的特定气体产生电流的变化，从而达到检测效果。

 

新建器件

 

首先按照下面气体传感器的结构参数新建层。

第一层：电极层—喷墨打印（墨水：BASE-CP12  DPI：25mm）

第二层：气体传感层—点胶（墨水：SENS-G500  点胶针头直径：90um）

 

绘制图形

 

第一层电极层采用喷墨打印，墨水采用BASE-CP12，DPI：25um，打印预处理温度为40℃。

 

第二层采用点胶方式制备，绘制图形后需要进行点胶化处理：墨水采用SENS-G500，点胶针头直径为90um。

一些比较复杂的图形，在绘制完图形或插入图形后新建一层再用Poly Line或者Direct Line将图形或者文字描画一次，这样可以提高点胶精度和速度。

 

整体绘制图形如下图所示：

 

墨水参数设置

第一层电极层采用墨水为BASE-CP12墨水，打印波形和参数选择软件默认的BASE-CP12墨水参数。后处理方式为140℃加热20min。

 

第二层气体传感层采用的墨水为：SENS-G500，采用90um直径的点胶头。这种墨水的点胶参数如下图所示。该层的后处理方式为120摄氏度退火30min。其中Dispensing height（点胶高度）由自动校准确定。点胶位置可以采用点胶的异层对齐功能后选点确定。

 

制作实际样品

 

样品性能

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