经验案例

微电子打印机制备气体传感器教程

发表日期:2020-04-09阅读量:447
柔性的气体传感器具有非常广泛的应用,本期介绍的是检测NH3和NO2气体的气体传感器,该传感器主要是通过检测环境中的特定气体产生电流的变化,从而达到检测效果。
 

新建器件

 
首先按照下面气体传感器的结构参数新建层。
第一层:电极层—喷墨打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25mm)
第二层:气体传感层—点胶(墨水:SENS-G500  点胶针头直径:90um)
 

绘制图形

 

第一层电极层采用喷墨打印,墨水采用BASE-CP12,DPI:25um,打印预处理温度为40℃。

 

第二层采用点胶方式制备,绘制图形后需要进行点胶化处理:墨水采用SENS-G500,点胶针头直径为90um。

一些比较复杂的图形,在绘制完图形或插入图形后新建一层再用Poly Line或者Direct Line将图形或者文字描画一次,这样可以提高点胶精度和速度。
 

整体绘制图形如下图所示:

 

墨水参数设置

第一层电极层采用墨水为BASE-CP12墨水,打印波形和参数选择软件默认的BASE-CP12墨水参数。后处理方式为140℃加热20min。

 

第二层气体传感层采用的墨水为:SENS-G500,采用90um直径的点胶头。这种墨水的点胶参数如下图所示。该层的后处理方式为120摄氏度退火30min。其中Dispensing height(点胶高度)由自动校准确定。点胶位置可以采用点胶的异层对齐功能后选点确定。
 

制作实际样品

 
样品性能
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