经验案例

微电子打印机制备平面电感

发表日期:2020-06-08阅读量:277
电感作为一种重要的无源元件,广泛应用于射频电路中实现调谐、匹配、滤波等功能;平面电感易整合,成本低,因此多应用于射频集成电路中。

微电子打印机可以用三种方式制备平面电感,根据对平面电感的要求选择对应的制备方式,以达到所需要求。使用微电子打印机制备平面电感的三种制备方式分别为:全打印、打印+化学镀、打印+刻蚀。

 

全打印

 

使用微电子打印机绘制平面线圈,并直接在柔性基底上喷墨打印导电墨水,即可完成平面电感的制备,线圈圈数为6圈,电阻值为400Ω其电感值可以达到10μH。

 

打印+刻蚀

 

纯粹使用喷墨打印的方式有可能不能满足您对平面电感阻值的要求,这种情况下也可以考虑在喷墨打印之后再加一个化学镀的步骤,将打印并后处理结束的平面电感器件放入化学镀的溶液中进行镀铜。线圈圈数为10圈,电阻值为90Ω,电感值为3μH。

 

打印+化学镀

 

使用微电子打印机绘制平面线圈,并直接在单面PI-Cu膜上打印绝缘层墨水,形成图形化的阻隔层,后处理完成后,再使用刻蚀液将没有覆盖绝缘层的Cu刻蚀,之后把绝缘层墨水清洗,干燥后即可完成平面电感的制备,线圈圈数为6圈,电阻值为0.75Ω,电感值为1.1μH。

 

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