经验案例

微电子打印机制备压力传感器教程

发表日期:2020-04-14阅读量:466

新建器件

首先按照下面压力传感器的结构新建层。

第一层:电极层—打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25um)

第二层:介电层—点胶(墨水:SENS-P300  点胶针头直径:160um)

第三层:电极层—打印(墨水:BASE-CP12  DPI:25um)

 

绘制图形

第一层和第三层都采用喷墨打印,打印的墨水和图形都相同,可以一次性打印完成:
墨水采用BASE-CP12,DPI:25um,打印预处理温度为40℃。

 

第二层采用点胶方式制备,绘制图形后需要进行点胶化处理:

墨水采用SENS-P300,点胶针头直径为160um,点胶间距为300um。

 

整体绘制图形如下图所示:

 

墨水参数设置

第一层和第三层电极层采用墨水为BASE-CP12墨水,打印波形和参数选择软件默认的BASE-CP12墨水参数。后处理方式为140℃加热20min。

 

第二层介电层采用的墨水为:SENS-P300,采用160um直径的点胶头,点胶间距为300um。这种墨水的点胶参数如下图所示。该层的后处理方式为70摄氏度退火3h,即点胶完这一层之后需要先退火后再进行后续操作。

在进行第二层介电层点胶前,需要先做点胶的异层对齐,保证点胶位置准确。(具体操作可以查看微电子打印机用户手册7.8手动版异层对齐功能)

 

实际制作样品

 

压力传感器性能

 

Copyright(c)2020 All Rights Reserved 沪ICP备17010955号-1 沪公网安备31011702004809号